ИОННЫЙ СОСТАВ АЗОТНОЙ ПЛАЗМЫ, ГЕНЕРИРУЕМОЙ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧНЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ, В ФОРВАКУУМНОЙ ОБЛАСТИ ДАВЛЕНИЙ

  • О. А. Буреев Институт электрофизики УрО РАН
  • Н. В. Гаврилов Институт электрофизики УрО РАН
Ключевые слова: нет

Аннотация

В статье представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы, генерируемой низкоэнергетическим электронным пучком (60-400 ev) в N2-Ar смесях при давлении ~10-2 Torr. Показано, что относительное содержание атомарных ионов азота в плазме достигает ~80% с ростом давления. Этот результат объясняется высокой скоростью потери N2+ по пути от плазмы пучка до области затухающей плазмы. Зависимость N+ фракции от потока пучка (0.1 to 20 A) была изучена с использованием двух типов источников электронного пучка плазмы, основанного на разряде с холодным и самонакаливаемым полым катодами.

Литература

1. Leonhardt D., Walton S.G., Fernsler R.F. //Phys. Plasmas. 2007. Vol. 14. № 5. P. 057103.
2. Abraha P., Yoshikawa Y., Katayama Y. // Vacuum. 2009. Vol. 83. № 3. P. 497.
3. Гаврилов Н.В., Мамаев А.С. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. № 15. С. 57.
4. Tibbetts G.G. // J. Appl. Phys. 1974. Vol. 45. № 11. P. 5072.
5. Gavrilov N.V., Mamaev A.S., Menshakov A.I.// Proc. 10th International Confer-ence on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk.: Publishing house of the IAO SB RAS, 2010. P. 27.
6. Гаврилов Н.В., Каменецких А.С. // ЖТФ. 2007. Т. 77. № 3. С. 12.
7. Bureyev O.A., Gavrilov N.V. // Proc. 16th International Symposium on High-Current Electronics. Tomsk.: Publishing house of the IAO SB RAS, 2010. P. 35.
8. Muratore C., Leonhardt D., Walton S.G., Blackwell D.D., Fernsler R.F., Meger R.A. //Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 191. № 2-3. P. 255.
9. Гаврилов Н.В., Мамаев А.С., Медведев А.И.// Известия Вузов. Физика. 2009. Т. 52. № 11/2. С. 166.
10.Thorsteinsson E.G., Gudmundsson J.T. // Plasma Sources Sci. Technol. 2009. Vol. 18.№ 4. P. 045002.
Опубликован
2018-03-06
Раздел
Статьи